*坩堝噴涂烘烤裝置是多晶硅鑄錠爐的輔助工藝裝備,用于對(duì)鑄錠爐所使的石英坩堝進(jìn)行脫模劑(SiN粉末)涂層噴涂。該裝置是鑄錠爐必備附機(jī),采用先進(jìn)的溫控勻熱技術(shù)及美國(guó)產(chǎn)高精密防飛霧噴槍?zhuān)軒椭脩敉瓿筛哔|(zhì)量的坩堝噴涂,并減少原料的消耗!根據(jù)用戶需求,坩堝噴涂烘烤工藝裝備包括雙向回轉(zhuǎn)加熱器、脫模劑(SiN)泵送系統(tǒng)、坩堝烘箱等輔助附件組成。
該噴涂臺(tái)和噴槍適用于多晶硅坩堝的氮化硅涂層的噴涂。噴槍采用美國(guó)產(chǎn)的精密可調(diào)非金屬噴槍?zhuān)瑪嚢杵鞑捎梅墙饘俨牧现瞥?,在噴涂過(guò)程中絕對(duì)沒(méi)有金屬雜質(zhì)進(jìn)入多晶硅坩堝的涂層中,有效保證了氮化硅涂層的純凈。
一、旋轉(zhuǎn)臺(tái)技術(shù)規(guī)格:
a、加熱腔室:長(zhǎng)880 mm×寬880 mm×深400~450mm
b、適用坩堝(外徑):870×870×420和480mm;
c、最大承重量:150(kg);
d、額定功率:9kW;
e、回轉(zhuǎn)角度:270°;
f、翻轉(zhuǎn)角度:15°;