臺(tái)灣太陽(yáng)能硅片廠綠能科技(GET)獨(dú)創(chuàng)的“蝕刻液與硅基板表面粗糙化方法”鉆石切割線技術(shù)正式獲得臺(tái)灣發(fā)明專利保護(hù),可優(yōu)化鉆石線切割外延片的效率、并提高硅片的轉(zhuǎn)換效率。同樣的技術(shù)在中國(guó)大陸正在進(jìn)行專利審查。
目前太陽(yáng)能硅片的切片多以銅線搭配切割液為主。相較之下,鉆石切割線的耐用度與產(chǎn)能都較銅線為佳,未來(lái)可望成為主流。綠能在研發(fā)銅線切片搭配研磨技術(shù)的專利的同時(shí),也研究新世代鉆石切割線的技術(shù)。
綠能表示,用濕蝕刻技術(shù)搭配鉆石線切割技術(shù),最多可提升外延片的轉(zhuǎn)換效率達(dá)0.4%;若采用新能源的高效芯片,搭配PERC電池技術(shù),多晶電池轉(zhuǎn)換效率最高可達(dá)19.5%、平均效率達(dá)18.4%。若同時(shí)采用新能源的140um鉆石切割工藝,硅材耗損率可再降低10%。
由于鉆石線切之后的硅片表面會(huì)過(guò)于光滑,光反射率高,導(dǎo)致光子吸收量少,進(jìn)而影響發(fā)電量。鉆石切割現(xiàn)在切割時(shí)也會(huì)產(chǎn)生應(yīng)力,使硅片表面發(fā)生輕微磨損。為此,綠能科技透過(guò)特殊配方的蝕刻液與精確控制的硅晶源溫度、蝕刻工藝,使硅片表面能均勻粗糙化,并移除損傷層。蝕刻、清洗后所產(chǎn)出的廢料,也可同步在工藝上回收。
目前太陽(yáng)能硅片的切片多以銅線搭配切割液為主。相較之下,鉆石切割線的耐用度與產(chǎn)能都較銅線為佳,未來(lái)可望成為主流。綠能在研發(fā)銅線切片搭配研磨技術(shù)的專利的同時(shí),也研究新世代鉆石切割線的技術(shù)。
綠能表示,用濕蝕刻技術(shù)搭配鉆石線切割技術(shù),最多可提升外延片的轉(zhuǎn)換效率達(dá)0.4%;若采用新能源的高效芯片,搭配PERC電池技術(shù),多晶電池轉(zhuǎn)換效率最高可達(dá)19.5%、平均效率達(dá)18.4%。若同時(shí)采用新能源的140um鉆石切割工藝,硅材耗損率可再降低10%。
由于鉆石線切之后的硅片表面會(huì)過(guò)于光滑,光反射率高,導(dǎo)致光子吸收量少,進(jìn)而影響發(fā)電量。鉆石切割現(xiàn)在切割時(shí)也會(huì)產(chǎn)生應(yīng)力,使硅片表面發(fā)生輕微磨損。為此,綠能科技透過(guò)特殊配方的蝕刻液與精確控制的硅晶源溫度、蝕刻工藝,使硅片表面能均勻粗糙化,并移除損傷層。蝕刻、清洗后所產(chǎn)出的廢料,也可同步在工藝上回收。