東芝三菱電機(jī)產(chǎn)業(yè)系統(tǒng)可在非真空工藝下形成太陽(yáng)能電池透明導(dǎo)電膜的裝置“TMmist”已開始銷售。該裝置可削減設(shè)置面積、提高太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率及降低制造成本等。預(yù)計(jì)2014年度會(huì)獲得約10億日元，2015年度會(huì)獲得約20億日元的訂單。

圖1：應(yīng)用于CIGS太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線

TMmist采用霧化CVD法，就是將成膜材料的溶液利用超聲波霧化后，令其在基板上進(jìn)行分解和反應(yīng)形成薄膜。因不會(huì)像濺鍍?cè)O(shè)備那樣會(huì)對(duì)基板造成等離子損傷，所以有望提高太陽(yáng)能電池的發(fā)電效率和品質(zhì)。

圖2：研發(fā)裝置的外觀

另外，其還有成膜速度快的特點(diǎn)。在制造氧化鋅透明導(dǎo)電膜時(shí)，成膜速度可達(dá)650nm/分。而原來(lái)的方法如蒸鍍法，成膜速度只有數(shù)nm/分、濺鍍?cè)O(shè)備約為200nm/分。由成膜速度的提高，制造裝置的設(shè)置面積可削減約30％。