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SNEC 2014特別報道:Amtech希望打造最近的PECVD訂單

   2014-05-19 PV-Tech29730
核心提示:光伏設備供應商Amtech Systems正在SNEC 2014上強調兩項新的創(chuàng)新,其中包括贏得幾個鈍化新訂單后其SPECTRE 等離子體增強化學氣相沉
光伏設備供應商Amtech Systems正在SNEC 2014上強調兩項新的創(chuàng)新,其中包括贏得幾個鈍化新訂單后其“SPECTRE” 等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)以及啟用該技術的抗反射涂層工藝。

Amtech旗下子公司Tempress Systems的總經理Albert Hasper博士表示:“我們很高興,在行業(yè)下行周期期間,我們對于研發(fā)、技術和設備的持續(xù)投資現在推進我們產品進入不斷發(fā)展的太陽能市場。我們預計,這些創(chuàng)新將為我們客戶帶來新的解決方案,使得他們能夠降低成本并提高效率。由于市場著眼于為新一代生產定位,我對于在推出我們新的直流等離子體SPECTRE PECVD系統(tǒng)后,我們目前提供兩個可以整合到現有和新的生產線的創(chuàng)新感到特別自豪。”

根據該公司,Amtech還在Tempress Systems的五堆疊平臺展示一個新的POCl(3)工藝,針對每平方面積高達140歐姆的發(fā)射極電阻。據說大氣過程可以降低維護和提高正常運行時間,產量超過3,200wph,最終每個現行硅片實現最低成本。

據說其Kingstone半導體離子注入設備的發(fā)展也不斷進步,目前號稱在生產環(huán)境中產生平均效率20.3%,實驗室高于20.8%。盡管所有權問題的成本困擾了離子注入技術的采用,但是該公司稱,CoO低于前幾代設備。
 
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