7月14日～16日在美國舊金山舉辦了半導體制造裝置展會“SEMICON West 2009”。展位閑置，參展公司數(shù)量大幅減少，此番景象多少有點讓人擔心半導體制造裝置的市場前景。

　　去年后工序的展位如今變成了太陽能電池展會“Intersolar”的展區(qū)，今年的展位僅設在Moscone Center的南北展區(qū)。盡管如此，空閑位置仍然十分搶眼。另外，部分展位干脆掛起簾子，變成了放置物品倉庫。

　　今年，大型半導體制造裝置廠商普遍沒有參展。雖然尼康、愛發(fā)科、東京電子及迪思科參加了該展會，但與去年相比，展位十分冷清。預定12月舉辦的“SEMICON JAPAN 2009”（12月2日～4日，幕張國際會展中心）的申請參展企業(yè)也較少。此次SEMICON West與多年前需要在圣何塞及舊金山兩個會場分開展出時簡直有天壤之別。展會上也幾乎沒有新產(chǎn)品發(fā)布。

　　從各公司的說明會及采訪來判斷，“半導體制造裝置市場已渡過了最艱難時期”。今后，估計企業(yè)將向閃存開發(fā)方面進行投資，預計09年下半年半導體制造裝置的訂單量會增加。不過，幾乎沒有一家廠商決定為大型量產(chǎn)項目投資，筆者認為“今后各廠商將根據(jù)市場行情陸續(xù)投資”。半導體制造裝置市場的恢復能力較弱。此前極其旺盛的太陽能電池制造裝置需求也很低迷。

　　今后液晶制造裝置市場有望恢復。韓國LG顯示器宣布投資第8代生產(chǎn)線，韓國三星電子也打算增設大型生產(chǎn)線。臺灣及中國大陸也在計劃建設大型生產(chǎn)線。估計液晶制造裝置市場將于09年底恢復好轉(zhuǎn)。

　　功率半導體及LED方面的投資愈發(fā)活躍。通過投資LED而擴大的制造裝置需求僅限于MOCVD裝置、蝕刻裝置及激光切片機等。功率半導體需求擴大帶動業(yè)績好轉(zhuǎn)的裝置也僅限于支持深溝道（Deep Trench）的蝕刻裝置及離子注入裝置等。目前，愛發(fā)科及迪思科的裝置已接到詢價。

　　半導體制造裝置廠商紛紛表示，“半導體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)很難重返之前的勢頭”。具有嚴重危機意識的半導體制造裝置廠商今后將采取何種對策備受關(guān)注。（特約撰稿人：和田木 哲哉，野村證券金融研究所）