日本康肯株式會社（kanken）1978年成立，投入新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的揮發(fā)性有機(jī)氣體（VOCs）處理，已有30年以上專業(yè)經(jīng)驗，為制程廢氣處理（Scrubber）的專家，被公認(rèn)為污染防治設(shè)備界的翹楚。kanken臺灣子公司--臺灣康肯環(huán)保設(shè)備公司去年成立，提供本地半導(dǎo)體及太陽能產(chǎn)業(yè)所需服務(wù)。

該公司推出多款Scrubber除害機(jī)，KT1000FA是專為去除SiH4 、SiH2Cl2、WF6、PH3及4MS等半導(dǎo)體前段制程產(chǎn)生的有毒氣體而設(shè)計；KT1000Fi-HS 機(jī)臺適用于太陽能廠，可濾除SiH4、NH3及H2；廣泛出現(xiàn)在工業(yè)制程的NF3、C2F6及C3F8，是造成地球暖化的元兇之一，KT1000HA機(jī)臺提供了最佳解決方案。

臺灣康肯環(huán)保設(shè)備公司總經(jīng)理山本富男表示，KT1000FA設(shè)備采熱電式設(shè)計，比吸附式機(jī)種節(jié)省耗材工本，也不會有燃燒式機(jī)種會產(chǎn)生二氧化碳的問題。其均溫性佳，處理效率較高，臺灣前二大晶圓代車間共采購KT1000FA超過1,100臺。KT1000FA堅固耐用，第一部售出的機(jī)臺已逾七年，至今仍未除役，深受客戶肯定。

KT1000FA在日本為第一品牌，臺灣市場雖面臨美、德、英、韓及本土品牌產(chǎn)品的激烈競爭，但在12寸晶圓流水線的市占率始終遙遙領(lǐng)先對手；在大陸、新加坡及馬來西市場也有很好的口碑。該機(jī)處理的濃度符合需求，可提供客制化機(jī)臺為其最大優(yōu)勢。

山本富男表示，處理NF3、C2F6及C3F8所需的溫度較高（1,100度以上），業(yè)界已采購40臺KT1000HA，使用情形良好，是重視環(huán)保的企業(yè)眼中的優(yōu)良產(chǎn)品。

康肯環(huán)保公司電話（03）577-3616號。（翁永全）