近日，晶龍陽光設(shè)備公司開發(fā)的“一種用于單晶爐的四通式抽氣管道”和“一種滾珠式自動啟閉旋轉(zhuǎn)隔離閥”獲國家知識產(chǎn)權(quán)局頒發(fā)的“實用新型專利證書”。

“一種用于單晶爐的四通式抽氣管道”是集快速清掃、安全釋壓兩種功能為一體的新型抽氣管道。設(shè)備需要清掃時，可以在不用拆卸單晶爐抽氣管道的情況下直接打開蓋板，從兩個不同方位清掃管道內(nèi)部粉塵，使清潔效果、效率大幅提升。清掃口蓋板靠自身重量與管道口緊密接觸，在抽真空狀態(tài)下保證單晶爐的高真空度，爐壓高于設(shè)定值時可自行彈起，迅速釋放爐內(nèi)壓力，增強單晶爐安全性。

“一種滾珠式自動啟閉旋轉(zhuǎn)隔離閥”采用滾珠滑道的斜面設(shè)計，通過一個動力源實現(xiàn)閥蓋的升降與旋轉(zhuǎn)，既提升了其自動化水平，又提高了效率。