日前，中國政府發(fā)布了《國務(wù)院關(guān)于促進光伏產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展的若干意見》(以下簡稱《意見》)，《意見》中對產(chǎn)品及技術(shù)的要求被業(yè)內(nèi)大部分企業(yè)稱為“高準入門檻”，它明確規(guī)定新上光伏制造項目應(yīng)滿足單晶硅光伏電池轉(zhuǎn)換效率不低于20%、多晶硅光伏電池轉(zhuǎn)換效率不低于18%等要求，這一要求無疑將引發(fā)新一輪的太陽能電池技術(shù)創(chuàng)新與設(shè)備改進。
作為致力于以先進研發(fā)實力制造設(shè)備的Schmid集團在此背景下參照了電池生產(chǎn)商的最新市場需求發(fā)展技術(shù)。隨著5500系列APCVD傳動式工藝爐的開發(fā)，一套為工業(yè)化量產(chǎn)高效率電池的成熟系統(tǒng)已經(jīng)為一些特定應(yīng)用領(lǐng)域準備就緒，特別是半導(dǎo)體行業(yè)的摻雜玻璃。

Schmid集團光伏事業(yè)部副總裁Christian Buchner 博士，認為Schmid集團的準確定位滿足了來自中國客戶的最新需求。“我們認真查閱了中國政府關(guān)于太陽能發(fā)展的建議后再次有信心相信在短期和中期內(nèi)，只有一直在投資新技術(shù)設(shè)備，才可能生產(chǎn)效率超過20%的高品質(zhì)電池，才能在市場上獲得最終生存。我們的整線解決方案保證多晶18%和單晶20%的效率。投資已經(jīng)就緒，但只有在高效技術(shù)的支持下，才能確保以上電池生產(chǎn)的高效率。”

APCVD 是成功生產(chǎn)PERC電池的因素

據(jù)介紹，關(guān)于PERC生產(chǎn)工藝，Schmid是唯一可單獨提供所有制程的設(shè)備供應(yīng)商。Schmid PERC工藝包括背面清洗，APCVD鍍膜和背面鍍膜面激光開槽。所有設(shè)備可以簡單集成到客戶已有生產(chǎn)線，并提供市場上最低的制造成本。

根據(jù)計算，Schmid集團應(yīng)用于鈍化膜和覆蓋膜的APCVD技術(shù)，成本比ALD和PECVD工藝低40-50%。PERC電池由晶體硅組成。對于背面的鈍化，Schmid采用APCVD在硅片上鍍制氧化鋁層；背面有兩層覆蓋膜同樣通過APCVD技術(shù)制備。取決于不同的硅片質(zhì)量，采用Schmid工藝技術(shù)，可獲得平均效率在20%-20.5%的Cz單晶硅PERC電池和18-18.5%的多晶硅PERC電池。