作者：李逸、雷鳴 （北京航空航天大學(xué)）

目錄

一、西門子法——中國多晶硅技術(shù)的零的突破。 1

二、峨半人的結(jié)晶——改良西門子法 2

三、改良西門子法的二次改良 4

氫化合成工藝：冷氫化可降低能耗，提高三氯氫硅利用率。 4

分解還原工藝：流化床將大幅度降低能耗。 5

四、硅烷法——電子能級的新出路 8

五、冶金法——太陽能級的新起點(diǎn) 9

六、總結(jié) 10

七、參考文獻(xiàn) 11

我們實(shí)踐隊(duì)通過采訪了解到現(xiàn)在多晶硅生產(chǎn)中的技術(shù)等問題，生產(chǎn)中的成本是多晶硅產(chǎn)業(yè)如何與國外競爭的根本問題，我們在東方電氣集團(tuán)峨嵋半導(dǎo)體材料有限公司，峨眉半導(dǎo)體材料廠，研究所（以下簡稱“東氣峨半”）參觀工廠和車間時(shí)也有這種感悟，只有使用新技術(shù)，才能減少生產(chǎn)成本，才能從根本上減少成本，以適應(yīng)多晶硅新環(huán)境。當(dāng)我們了解了這些后，我們決定自己通過查閱參考資料來搜集新技術(shù)，結(jié)合我們的實(shí)踐來提出一點(diǎn)原來很少的東西，總結(jié)起來。變成我們自己的東西。我相信這份報(bào)告是獨(dú)一無二的。我們也是希望我們材料學(xué)子能更多的了解到這些傳統(tǒng)材料的現(xiàn)狀與發(fā)展。也能從中學(xué)習(xí)創(chuàng)新技術(shù)和改良技術(shù)的途徑。

東氣峨半采用的是改良法西門子技術(shù)，這些在接下來的文章里還會對技術(shù)進(jìn)行詳盡的分析。我們從多晶硅生產(chǎn)的歷史來看技術(shù)，最后還將結(jié)合國外著名多晶硅企業(yè)進(jìn)行綜合分析。