在SEMICON China 2013開(kāi)展首日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司正式發(fā)布了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的多反應(yīng)器金屬有機(jī)化合物氣相沉積設(shè)備（MOCVD）——Prismo D-Blue?，并首次進(jìn)入半導(dǎo)體照明市場(chǎng)。
 

 

Prismo D-Blue? MOCVD 設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的氮化鎵、銦鎵氮、鋁鎵氮超薄層結(jié)構(gòu)的大批量生產(chǎn)，這些超薄層結(jié)構(gòu)對(duì)于高亮度LED是必需的。中微的 MOCVD 設(shè)備不僅具有精準(zhǔn)的參數(shù)控制、全自動(dòng)化處理和獨(dú)特的緊湊設(shè)計(jì)等特點(diǎn)，而且擁有高生產(chǎn)率、高產(chǎn)能和低成本投入，是 LED 芯片制造過(guò)程中必不可少的新一代 MOCVD 設(shè)備。
 

中微此款具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的 MOCVD 設(shè)備可以容納多達(dá)4個(gè)反應(yīng)器，每個(gè)反應(yīng)器都可以獨(dú)立控制。這一創(chuàng)新設(shè)計(jì)可以實(shí)現(xiàn)卓越的生產(chǎn)靈活性。它也是該類(lèi)設(shè)備中唯一帶有這一特性的產(chǎn)品，也就是說(shuō)，中微的 MOCVD 設(shè)備可以以并行或者串行模式運(yùn)行，這就減少了交叉污染，并且保證了晶體的高質(zhì)量，這是先進(jìn)的 LED 器件所必需的。中微的MOCVD設(shè)備在外形尺寸上也有相當(dāng)?shù)膬?yōu)勢(shì)，它比競(jìng)爭(zhēng)者的單反應(yīng)器機(jī)臺(tái)的占地面積小了近30%，因此，Prismo D-Blue對(duì)于目前的 LED 芯片生產(chǎn)線(xiàn)無(wú)疑是占地面積更小的絕佳選擇。
 

中微的Prismo D-Blue設(shè)備可以同時(shí)加工216片2英寸晶圓。它的工藝能力還能延展到生長(zhǎng)4英寸、6英寸和8英寸外延芯片。除了具有多反應(yīng)器結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)可以使其加工靈活性達(dá)到最大化以外，Prismo D-Blue 在每個(gè)關(guān)鍵性能指標(biāo)上的表現(xiàn)都十分出色。在馬拉松測(cè)試中，它表現(xiàn)出了優(yōu)異的片內(nèi)和片與片之間的均勻性以及很好的重復(fù)性。這些結(jié)果都是在整個(gè)外延芯片加工的過(guò)程中未作任何工藝參數(shù)調(diào)整而得出的。外延芯片加工的過(guò)程對(duì)于反應(yīng)腔室表面的條件、化學(xué)氣體環(huán)境、溫度轉(zhuǎn)換控制和其他可變因素都極為敏感，因此在這種加工過(guò)程中，能達(dá)到持續(xù)的重復(fù)性確實(shí)有它獨(dú)到的一面。
 

在上述馬拉松測(cè)試中，Prismo D-Blue 從未發(fā)生過(guò)任何異常中斷，中微通過(guò)對(duì)工藝參數(shù)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)時(shí)的監(jiān)控實(shí)現(xiàn)了高可靠性。這種高可靠性還得益于一系列復(fù)雜的軟件程序、先進(jìn)的傳輸模塊、流程自動(dòng)化和控制技術(shù)。這些同樣也是使得中微的半導(dǎo)體前端加工設(shè)備被業(yè)界廣為認(rèn)可的技術(shù)。
 

Prismo D-Blue 還被進(jìn)一步優(yōu)化以方便用戶(hù)更易操作與維護(hù)。這對(duì)于一個(gè)發(fā)展迅速并看重成本的 LED 芯片制造商來(lái)說(shuō)是至關(guān)重要的。卓越的加工性能和正?？蛇\(yùn)行時(shí)間可以拉大服務(wù)之間的差距，而新穎的設(shè)計(jì)特點(diǎn)則能夠使得設(shè)備維護(hù)更加簡(jiǎn)便易行。同時(shí)，自動(dòng)化、可編程的維護(hù)程序使得反應(yīng)腔開(kāi)關(guān)操作更加安全、快捷、可預(yù)測(cè)并且不易出錯(cuò)。
 

Prismo D-Blue 目前已擁有100多項(xiàng)專(zhuān)利（包括授權(quán)和未授權(quán)專(zhuān)利）以保護(hù)其獨(dú)特的創(chuàng)新性。此外，它還遵循了半導(dǎo)體制造規(guī)則并完全符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)。
 

中微半導(dǎo)體董事長(zhǎng)兼首席執(zhí)行官尹志堯表示，中微為全球半導(dǎo)體制造商提供了先進(jìn)的工藝技術(shù)和設(shè)備。目前，中微已有超過(guò)200個(gè)刻蝕反應(yīng)機(jī)臺(tái)在亞洲16條國(guó)際領(lǐng)先的半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)上運(yùn)行。中微在硅技術(shù)上積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)和工藝知識(shí)，進(jìn)入半導(dǎo)體照明市場(chǎng)對(duì)于中微而言是水到渠成的一步。中微半導(dǎo)體不斷開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品進(jìn)入新領(lǐng)域，并且步伐在不斷加快，MOCVD設(shè)備的開(kāi)發(fā)到成功推出僅僅花了兩年的時(shí)間。中微有充分信心通過(guò)與客戶(hù)配合試生產(chǎn)并不斷完善，將其MOCVD設(shè)備打造成為全球最一流的設(shè)備之一。
 

SEMI全球副總裁、SEMI中國(guó)總裁陸郝安博士對(duì)中微新產(chǎn)品的發(fā)布表示熱烈的祝賀，他表示，SEMI作為全球?qū)I(yè)的半導(dǎo)體設(shè)備與材料行業(yè)協(xié)會(huì)，在中國(guó)的使命即為推動(dòng)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。當(dāng)前中國(guó)本土半導(dǎo)體業(yè)者最缺失的是核心競(jìng)爭(zhēng)力，比如LED外延關(guān)鍵設(shè)備MOCVD多從國(guó)外采購(gòu)，而今天中微在此領(lǐng)域取得重大突破成就是非常有意義的。