3月6日，由浙江大學承擔的浙江省重大科技專項“全自動大規(guī)模集成電路單晶硅生長爐關鍵技術(shù)的研究與開發(fā)”項目，通過了由浙江省科技廳組織的專家組的驗收。此前，該項目產(chǎn)品于2008年10月18日通過了新產(chǎn)品省級鑒定，專家們認為，該項目研制的全自動晶體生長爐達到了國內(nèi)領先水平，其中晶體直徑控制技術(shù)達到國際同類產(chǎn)品的先進水平。

本項目研制的“TDR80A-全自動晶體生長爐”產(chǎn)品

    項目在深入研究硅單晶生長工藝的基礎上，對拉晶全過程實行全自動控制，使硅單晶產(chǎn)品的成品率達到國際先進水平；開發(fā)的基于非完整圖像識別的高溫晶棒直徑測量和CCD圖像獲取熔態(tài)硅液面位置等兩項創(chuàng)新性關鍵技術(shù)，使1m長的單晶棒等徑誤差小于±1mm，達到國際同類產(chǎn)品的先進水平。
   
    項目已獲授權(quán)的國家專利6項，其中發(fā)明專利3項。該項目的單晶爐控制軟件已獲國家版權(quán)局頒發(fā)的計算機軟件著作權(quán)登記證書。項目開發(fā)的具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的全自動單晶爐產(chǎn)品，填補了國內(nèi)空白，初步實現(xiàn)了工業(yè)化生產(chǎn)和推廣應用，取得了良好的經(jīng)濟效益與社會效應。
   
    項目由上虞晶盛機電工程有限公司、杭州慧翔電液技術(shù)開發(fā)有限公司、上虞市金輪機電工程有限公司以及杭州電子科技大學等單位參加完成。產(chǎn)品已廣泛地用于北京有研半導體材料股份公司、北京國泰半導體、浙江萬向硅峰公司、四川峨嵋半導體材料廠、江西LDK和天威英利等國內(nèi)著名的半導體材料制備企業(yè)和高端的太陽能材料公司。