面向全球半導體、太陽能和電子行業(yè)提供精密儀器和先進氣液輸送解決方案的技術引領者 Celerity, Inc. 今天宣布，該公司推出新型 GF100 系列質量流量控制器 (MFC)，該產(chǎn)品旨在精確測量、監(jiān)控和控制半導體設備及太陽能電池生產(chǎn)工藝中的超純度工藝氣體化學反應。該新型 Celerity GF100 系列質量流量控制器是一個可高度配置的平臺，具有 Celerity 第二代專有的壓力瞬變不敏感型流量技術，可以改善工藝控制、降低擁有成本，并消除存貨管理的復雜性。

    該新型 Celerity GF100 系列質量流量控制器產(chǎn)品系列具有諸多重要優(yōu)勢，包括高精確度、可重復的氣體測量、先進的數(shù)字架構進行的控制、為實現(xiàn)最大工藝靈活性和最優(yōu)化對氣體和流量范圍進行原位電子再配置、壓力瞬變不敏感型流量技術設計（顯著減少了高純度氣體輸送系統(tǒng)的成本和體積）、以及便于自己進行簡單、有效的維護工作的嵌入式智能診斷、維修端口和軟件。

    Celerity 銷售與推廣高級副總裁 David Somo 表示："Celerity 是先進的數(shù)字超純度質量流量控制器領域的市場領導者，也是壓力瞬變不敏感型質量流量控制器領域的行業(yè)先驅。GF100 系列利用了我們在氣體流量控制領域的廣泛經(jīng)驗，是對我們市場領先的精確質量流量控制器的持續(xù)改善與更新，它為客戶實現(xiàn)更佳的工藝控制和更低的擁有成本提供了符合 RoHS 的無縫升級。"

    Celerity 簡介

    Celerity 是一家從事精密儀器及先進氣液輸送解決方案的設計、工程及生產(chǎn)的技術引領者，其解決方案是半導體、平板顯示器、太陽能電池板及相關產(chǎn)品生產(chǎn)設備中不可或缺的組成部分。Celerity 總部位于加州圣荷西，在世界各地擁有約800名員工。Celerity 是一家私人控股公司，德克薩斯太平洋集團 (Texas Pacific Group) 擁有其大部分股份。