微信客服
微信公眾號
1.擴散爐作用
擴散爐主要用于對晶硅表面行程PN結，由于太陽能電池的基本原理在于行程PN結，處于激發(fā)狀態(tài)的光子的能量將使得PN結中的電子產生空穴的移動，這樣即形成了電流，因此，擴散是晶硅太陽能電池片中的關鍵一環(huán)，其生產過程的化學反應過程由以下的反應構成：
擴散爐提供此反應的設備，提供反應所需的溫度、壓力條件及物料裝載與卸載的傳動機構。
2.擴散爐機柜構成
擴散爐由裝載系統(tǒng)、擴散爐體、起源柜、電源柜與控制系統(tǒng)構成。
2.1裝載系統(tǒng)
由槳、槳托、傳動系統(tǒng)、手動上料臺、提升裝置、晶硅片儲存盒、真空吸筆裝置、冷卻箱、過濾箱構成，槳由升降電機和聯(lián)動裝置構成進行提升，可采用皮帶傳動方式。
2.2起源柜
由酸排、熱排系統(tǒng)構成，對于其中的廢酸進行排放，并且也對熱量進行排放以便確保門打開后的吸收，這個單元也包括了冷卻水系統(tǒng)、尾氣瓶排放區(qū)、氣體控制區(qū)（氮氣、氧氣和CDA）、Bubbler放置區(qū)。
2.3電氣控制系統(tǒng)
由IPC、分布式I/O、熱電偶、可控硅加熱器等構成，提供對整個生產過程的實時工藝參數(shù)控制及監(jiān)控過程確保生產質量與安全。
2.4電源柜
則是提供加熱可控硅所需的開關電源等。
3.擴散爐功能要求
3.1配方管理器
這個單元是對整個配方的管理，創(chuàng)建和更改配方
提供系統(tǒng)擴散工藝的不同晶硅的工藝配方，包括以下參數(shù)
3.1.1工藝時間
3.1.2溫度由級聯(lián)溫度控制單元進行控制
爐體內部超溫報警熱電偶、工藝溫度檢測熱電偶
爐體外層由多個可控硅加熱單元構成，對爐內進行加熱，確保爐溫。
冷卻系統(tǒng)的進出水溫度檢測。
3.1.3壓力
3.1.4氣流
3.1.5裝載機的控制與通信
3.2狀態(tài)實時監(jiān)控
監(jiān)視啟動、停止、工藝參數(shù)(溫度、壓力、氣流)等狀態(tài)
3.3爐門控制系統(tǒng)
由于通往爐內的氣體為有毒有害氣體，必須確保氣體，這包括對爐門控制的步進電機驅動，以及酸排、排風、吸氣等執(zhí)行動作。
4. 控制系統(tǒng)構成
貝加萊為某知名擴散爐制造商提供了完整的控制系統(tǒng)，其系統(tǒng)結構和配置圖如下：
4.1分布式控制系統(tǒng)
系統(tǒng)由多個PLC構成，分別控制多個不同的爐體內的溫度、氣流、壓力等，并且有單獨的門控制系統(tǒng)。
4.2安全系統(tǒng)
由于擴散生產存在對人體有害的氣體，對于爐門的控制采用了安全系統(tǒng)，當發(fā)現(xiàn)有氣體泄露時安全系統(tǒng)確保系統(tǒng)不會對操作人員產生傷害。
4.3爐門的傳動控制
由IP67等級的分布式I/O構成，可以任意安裝來控制爐門的開關，并且也可以用于控制槳托的提升，IP67的步進控制非常靈活。
4.4集中的數(shù)據(jù)顯示
由一個Panel PC構成，安裝Windows XP的系統(tǒng)可以實現(xiàn)系統(tǒng)配方的良好管理，通過Ethernet POWERLINK與多CPU進行通信。
5. 系統(tǒng)特點
貝加萊控制系統(tǒng)具有復雜算法設計能力，特別適合于多段溫區(qū)的溫度控制場合，包括流量、壓力控制，Automation Studio提供良好的軟件功能塊：
● 趨勢圖顯示組件，可以快速的組態(tài)系統(tǒng)，實現(xiàn)溫度、壓力的變化趨勢；
● 狀態(tài)監(jiān)控，可以組態(tài)整個擴散爐流程，對其中各個控制點和監(jiān)測點進行可視化的顯示；
● 安全系統(tǒng)集成達到SIL 3等級，滿足IEC61508標準設計；
0 條