Imec、RENA和SoLayTec三家公司日前發(fā)布了使用原子層沉積(ALD)鈍化技術(shù)的156mm x156mm i-PERC型晶硅太陽(yáng)能電池，該電池采用imec的太陽(yáng)能電池中試線生產(chǎn)，據(jù)稱在未使用選擇性發(fā)射極結(jié)構(gòu)的前提下轉(zhuǎn)換效率達(dá)19.6%。

Imec光伏部門負(fù)責(zé)氧化鋁鈍化開發(fā)的資深科學(xué)家奧德·羅斯柴爾德(Aude Rothschild)博士指出：“這些結(jié)果表明采用ALD技術(shù)生長(zhǎng)的氧化鋁薄層有著卓越的鈍化性能，而且避免的傳統(tǒng)工藝的一些問題。ALD氧化鋁的鈍化能力可以提高電池效率，預(yù)計(jì)在不遠(yuǎn)的將來(lái)太陽(yáng)能電池性能會(huì)得到進(jìn)一步的改善。我們的目標(biāo)是在未來(lái)幾個(gè)月將電池轉(zhuǎn)換效率提高到20%。”

RENA太陽(yáng)能生產(chǎn)部經(jīng)理Franck Delahaye補(bǔ)充道：“這個(gè)優(yōu)秀結(jié)果顯示RENA的InPolish背面拋光和InOxSide隔離技術(shù)的成熟，并可用于下一代i-PERC電池的生產(chǎn)。”

SoLayTec聯(lián)合創(chuàng)始人兼市場(chǎng)營(yíng)銷經(jīng)理Roger Görtzen表示：“卓越的背面鈍化結(jié)果顯示SoLayTec的ALD氧化鋁工藝的性能。實(shí)驗(yàn)室工藝可以放大并適用于批量生產(chǎn)，再加上三甲基鋁(TMAI，ALD工藝中的鋁源)消耗量少，將使成本達(dá)到最低。ALD氧化鋁是高效p型PERC硅太陽(yáng)能電池的首選鈍化技術(shù)。

以上結(jié)果是在imec硅太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)協(xié)作計(jì)劃(IIAP)中所取得的，小批量電池平均轉(zhuǎn)換效率達(dá)19.4%。