預(yù)清洗和去膠
硅片切割工藝后，硅片載荷就放入預(yù)清洗系統(tǒng)，這是由不同清洗槽的分批結(jié)構(gòu)組成。用噴霧、沖洗和不同的超聲激勵(lì)，加上提升溫度的綜合運(yùn)用，硅片就得到預(yù)清洗并從橫梁板上去膠脫落。此工藝結(jié)束時(shí)，把硅片固定在特殊設(shè)計(jì)的RENA載片裝置內(nèi)，就可用于分離了。

硅片分離
硅片在載片裝置內(nèi)安全地轉(zhuǎn)運(yùn)到RENA WaSep中。不需要操作人員觸摸或處理硅片，WaSep能分離硅片，并達(dá)到市場(chǎng)上現(xiàn)有系統(tǒng)最高的良率和產(chǎn)額，對(duì)更易脆的FASW硅片尤其如此。

硅片分離，同時(shí)以平穩(wěn)的方式全部浸沒(méi)在水中并送往后面的下游工藝，這取決于用戶的要求和配置（最后的在線清洗機(jī)、用于批次清洗機(jī)的片盒裝載器、干燥后用于硅片直接檢測(cè)等）。