大日本網(wǎng)屏制造將與岐阜大學合作開發(fā)太陽能電池用微結(jié)晶硅薄膜的評測技術(shù),并基于共同研究成果,將于2009年底上市測定大型底板上形成的微結(jié)晶硅薄膜厚度的裝置。
大日本網(wǎng)屏制造自2008年7月正式開展太陽能電池相關(guān)業(yè)務(wù),此前已上市分光Ellipso式膜厚測定裝置。而岐阜大學2008年10月在“未來型太陽能發(fā)電系統(tǒng)研究中心”內(nèi)新設(shè)了評測大型太陽能電池結(jié)構(gòu)的“太陽能電池模塊評測技術(shù)研究開發(fā)部門”。
此次的共同研究,將通過強化大日本網(wǎng)屏制造的分光Ellipso式膜厚測定裝置的功能,開發(fā)可以正確測定原來難以實現(xiàn)的微結(jié)晶硅薄膜的膜厚和膜質(zhì)的技術(shù)。
微結(jié)晶硅薄膜是薄膜硅型太陽能電池使用的一種薄膜。目前業(yè)界正在進行將微結(jié)晶硅薄膜和非晶硅薄膜重疊以提高薄膜硅型太陽能電池轉(zhuǎn)換效率的研究開發(fā)。但微結(jié)晶硅薄膜存在成膜速度和膜質(zhì)難以兩全的問題。