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美國盧比肯技術(shù)公司(Rubicon Technology, Inc.)選用Zeta-300系列儀器來監(jiān)控其具有世界一流水平的藍(lán)寶石襯底生產(chǎn)線

   2012-08-07 20490
核心提示:美國澤塔儀器公司(ZETA INSTRUMENTS,INC.)是一家業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的微細(xì)表面形貌測(cè)量儀器制造商。該公司今天宣布美國盧比肯技術(shù)公司(納斯達(dá)
美國澤塔儀器公司(ZETA INSTRUMENTS,INC.)是一家業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的微細(xì)表面形貌測(cè)量儀器制造商。該公司今天宣布美國盧比肯技術(shù)公司(納斯達(dá)克股票代碼:RBCN)已訂購多臺(tái)Zeta-300™ 系列光學(xué)輪廓儀用來監(jiān)控其藍(lán)寶石襯底生產(chǎn)線。盧比肯藍(lán)寶石襯底的用途之一是被用作生產(chǎn)高亮度發(fā)光二極管(HBLED)的基片。

作為發(fā)光二極管、半導(dǎo)體以及光學(xué)工業(yè)所需的藍(lán)寶石襯底的主要供應(yīng)商,盧比肯的產(chǎn)品質(zhì)量在業(yè)界被視為黃金標(biāo)準(zhǔn)。藍(lán)寶石基片上的缺陷可能導(dǎo)致后續(xù)發(fā)光二極管晶圓的報(bào)廢,從而對(duì)晶圓廠商生產(chǎn)成本造成很不利的影響。基于對(duì)此的充分認(rèn)識(shí),盧比肯購買了多臺(tái)Zeta-300™ 系列光學(xué)輪廓儀用來檢測(cè)藍(lán)寶石基片上可能出現(xiàn)的缺陷,以及精確測(cè)量圖案化藍(lán)寶石基片上PSS的幾何尺寸,以此來幫助發(fā)光二極管晶圓廠商提高成品率、降低生產(chǎn)成本。

以最優(yōu)性價(jià)比享譽(yù)業(yè)界的澤塔儀器操作簡易、測(cè)量精度高,已經(jīng)被眾多與發(fā)光二極管生產(chǎn)有關(guān)的企業(yè)所采用。作為澤塔最新的光學(xué)廓線儀,Zeta-300™ 系列是專門針對(duì)圖案化藍(lán)寶石基片(PSS)極其嚴(yán)格的測(cè)量要求而設(shè)計(jì)的。它不但可以精密測(cè)量PSS的幾何尺寸,而且可以檢測(cè)PSS樣品上存在的缺陷。這種合二為一的獨(dú)特設(shè)計(jì)和功能在PSS測(cè)量領(lǐng)域?qū)儆谑讋?chuàng)。

“根據(jù)生產(chǎn)線的要求,我們對(duì)多家廠商的測(cè)量儀器進(jìn)行了評(píng)估。我們得出的結(jié)論是Zeta-300™ 系列所提供的測(cè)量速度和準(zhǔn)確性均優(yōu)于其它同類產(chǎn)品,” 盧比肯技術(shù)公司的總裁Raja M. Parvez先生說道:“使用澤塔的儀器可以確保我們的產(chǎn)品能夠滿足并超越我們自己內(nèi)部的和我們客戶要求的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。”

利用澤塔的Z-點(diǎn)陣™ 專利技術(shù),Zeta-300系列能夠?qū)涛g的PSS、顯形光阻(PR)以及透明的多層結(jié)構(gòu)進(jìn)行量測(cè),其測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確度高、重復(fù)性好。澤塔的儀器在業(yè)界被公認(rèn)為具有最佳的光學(xué)硬件和計(jì)算機(jī)軟件算法組合,可以快速可靠地對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行采集和分析。與同類產(chǎn)品相比,澤塔的儀器在對(duì)發(fā)光二極管產(chǎn)業(yè)中的PSS做量測(cè)時(shí),所提供的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性最高、再現(xiàn)性最好。

Zeta-380配備有晶圓自動(dòng)裝卸機(jī)械手和特定的應(yīng)用程序軟件,它所提供的成像和測(cè)量功能優(yōu)于激光共聚焦顯微鏡??蛻粲肸eta-380可檢測(cè)到的一些關(guān)鍵缺陷在其它同類檢測(cè)儀器上可能不會(huì)被發(fā)現(xiàn)。直觀和創(chuàng)新的系統(tǒng)設(shè)計(jì)既簡化了澤塔儀器的操作和使用,又降低了系統(tǒng)的總體擁有成本。

澤塔儀器公司總裁Rusmin Kudinar先生說,“Zeta-300系列產(chǎn)品能夠被世界上最大和最受人推崇的PSS晶圓供應(yīng)商之一所選中,并被其作為生產(chǎn)過程中的一個(gè)組成部分,這是對(duì)我們的產(chǎn)品戰(zhàn)略和研發(fā)成果的充分肯定。我們期待著跟盧比肯這樣一個(gè)值得信賴的伙伴進(jìn)行持續(xù)的合作,使其在不斷推進(jìn)藍(lán)寶石襯底生產(chǎn)技術(shù)的征途上闊步前進(jìn)。”

如需獲取更多的關(guān)于Zeta-300系列的信息,請(qǐng)?jiān)L問http://www.zeta-inst.com/contact。

關(guān)于盧比肯技術(shù)公司(Rubicon Technology, Inc.)

盧比肯科技公司是先進(jìn)的電子材料供應(yīng)商,從事單晶藍(lán)寶石和其它晶體材料的開發(fā)、生產(chǎn)和銷售。盧比肯的產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于發(fā)光二極管(LED)、射頻集成電路(RFIC)、藍(lán)色激光二極管、光電子和其它光學(xué)應(yīng)用領(lǐng)域。該公司采用其專有的晶體生長技術(shù),生產(chǎn)非常高品質(zhì)的藍(lán)寶石。這種具有特有形態(tài)的藍(lán)寶石可以用來大量生產(chǎn)各種尺寸和晶向的襯底和窗口。盧比肯是一個(gè)全方位的制造企業(yè),制造能力包括晶體生長、高精度取芯鉆切、晶圓切片、表面研磨、大直徑拋光和晶圓清洗。這些制造能力使得盧比肯可以將大塊晶體轉(zhuǎn)化為滿足不同顧客質(zhì)量和精度要求的各類產(chǎn)品。該公司在大直徑產(chǎn)品領(lǐng)域居世界領(lǐng)先地位。這類大直徑產(chǎn)品可以用來生產(chǎn)下一代的發(fā)光二極管,射頻集成電路和光學(xué)窗口。

關(guān)于澤塔儀器

澤塔儀器公司是業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的光學(xué)輪廓儀供應(yīng)商。澤塔的測(cè)量系統(tǒng)幫助綠色環(huán)保技術(shù)和生物醫(yī)藥產(chǎn)品制造商大幅提高產(chǎn)量和增強(qiáng)質(zhì)量控制。其解決方案被廣泛應(yīng)用于微流體/生物技術(shù)、高亮度LED、太陽能電池、磁存儲(chǔ)介質(zhì)的開發(fā)和生產(chǎn)。澤塔是一家總部位于美國加利福尼亞州圣何塞市的私人控股公司。欲了解更多有關(guān)澤塔儀器及其產(chǎn)品,請(qǐng)?jiān)L問www.zeta-inst.com。

 
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