臺灣高科技產(chǎn)業(yè)不斷持續(xù)針對制程的優(yōu)化進行投資,太陽能產(chǎn)業(yè)亦是如此;然而,許多精進制程在提高生產(chǎn)效率的同時,對于廢氣處理設備之供應商也帶來了新的挑戰(zhàn)。為因應相關挑戰(zhàn),臺灣達思公司特別推出UPTIMUM,此設備專為在使用端(point-of-use)達到高效率廢氣處理而設計,在化學氣相沉積(CVD)制程中,可達到最高每分鐘500公升(slm)的廢氣處理效率。
此款廢氣處理設備是首次售予臺灣的太陽能電池制造商。太陽能電池廠商在制造抗反射薄膜以及鈍化保護層時會產(chǎn)生一氧化二氮(N2O),目前臺灣政府已計劃將此類氣體列入應處理的廢氣專案,而UPTIMUM便是運用成熟的燃燒/水洗技術來分解一氧化二氮之最佳方案,此建議并已獲臺灣一知名研究機構認同。除了UPTIMUM優(yōu)異的處理能力外,達思公司也透過低能源消耗、設備的高使用率、以及全年無休(24/7)的完善服務取得新客戶的最終信賴。
達思公司將于2012年9月5日至7日于臺北南港展覽館所舉行的”SEMICON Taiwan 2012國際半導體展”中展示相關解決方案。