萬(wàn)機(jī)儀器公司(MKS Instruments Inc.)成立于1961年，提供全球尖端制程科技所需的儀器、次系統(tǒng)、制程控制解決方案，以及量測(cè)、制程控制、能源、監(jiān)測(cè)分析等，以提升制程效率及機(jī)器產(chǎn)能，其產(chǎn)品從核心技術(shù)衍生包含壓力及氣體流量量測(cè)及控制、材料輸送、氣體成分分析、靜電消除管理、機(jī)器數(shù)據(jù)及控制技術(shù)、電漿源及氣體產(chǎn)生器和相關(guān)真空技術(shù)，服務(wù)的產(chǎn)業(yè)包括半導(dǎo)體設(shè)備及生產(chǎn)工廠，以及相關(guān)薄膜制程應(yīng)用，如：平面顯示器、太陽(yáng)能、光盤(pán)紀(jì)錄媒體，以及任何先進(jìn)鍍膜技術(shù)，同時(shí)其產(chǎn)品及技術(shù)也應(yīng)用于其它尖端科技如制藥、生化制程、能源再生、環(huán)保監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域。


MKS以最優(yōu)良產(chǎn)品結(jié)合產(chǎn)業(yè)布局提供包括：管理制程氣體流量進(jìn)出制程腔體、測(cè)量及控制混合制程氣體壓力、分析及監(jiān)測(cè)氣體成份、隔離制程環(huán)境受外在因素影響、供應(yīng)制程電漿能源、產(chǎn)生腔體清潔用之制程氣體、結(jié)合各式各樣感應(yīng)器、系統(tǒng)及控制器、管理靜電效應(yīng)、校正儀器確保制程再現(xiàn)性、整合產(chǎn)品提供特殊制程系統(tǒng)等。


在整體經(jīng)濟(jì)因素和全球競(jìng)爭(zhēng)的影響下，半導(dǎo)體廠商一方面縮減資本支出，另一方面又要維持競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。因此，MKS精心挑選在業(yè)界最受肯定的制程控制系統(tǒng)，推出新一代產(chǎn)品，希望幫助客戶(hù)輕松升級(jí)現(xiàn)有設(shè)備，用更經(jīng)濟(jì)的方式持續(xù)提升制程質(zhì)量、產(chǎn)量和機(jī)器使用率。


例如，MKS的遠(yuǎn)端電漿系統(tǒng)(Remote Plasma System) ，其專(zhuān)利產(chǎn)品ASTRON可以達(dá)到高效率的制程腔體清潔效果，透過(guò)模塊化的設(shè)計(jì)，讓使用者更容易管理與控制，提升制程管理效率并降低維護(hù)成本，廣泛使用在半導(dǎo)體、平面顯示器及太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)。


萬(wàn)機(jī)科技為MKS在臺(tái)灣的子公司，提供MKS相關(guān)產(chǎn)品銷(xiāo)售及技術(shù)服務(wù)。隨著半導(dǎo)體、平面顯示器及太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)的持續(xù)蓬勃發(fā)展，MKS也將投入更多資源以提供更好的產(chǎn)品及服務(wù)為產(chǎn)業(yè)的前景貢獻(xiàn)心力。





圖說(shuō)：MKS遠(yuǎn)端電漿系統(tǒng)(Remote Plasma System)。