柔性薄膜組件和設(shè)備生產(chǎn)商Xunlight研制的第二代卷對卷薄膜硅太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備近日獲得美國專利。該公司的工具套件將四個(gè)卷對卷流程融合到一個(gè)單一的真空機(jī)器中，即底層清潔、后反射器沉積、PECVD薄膜硅沉積以及ITO濺射沉積。

名為“隔離室以及使用隔離室生產(chǎn)太陽能電池材料的方法”的該專利于5月8日由USPTO頒發(fā)，從而使該公司得以進(jìn)一步挖掘其專有技術(shù)。

該工具是一種在36英寸寬、8000英尺長的5mm厚不銹鋼底層上生產(chǎn)低成本柔性多結(jié)薄膜硅太陽能電池的單一機(jī)器。