Onyx-Revolution是一款旋轉(zhuǎn)柱狀磁控源，主要用于太陽(yáng)能電池的優(yōu)化應(yīng)用。采用形狀經(jīng)過(guò)設(shè)計(jì)優(yōu)化的磁體，可以在源和襯底之間獲得近似垂直的沉積，這樣可延長(zhǎng)運(yùn)轉(zhuǎn)周期，降低清洗要求，獲得更高的成品率。等離子源的靶材利用率高達(dá)85%或更高，平均每個(gè)柱狀磁控源可節(jié)約20%的成本。