PEGASO絲網(wǎng)印刷印機(jī)。通過它的Baccini平臺,可以制造太陽能電池板兩面的電子線路。
該架構(gòu)具有雙打印頭,在晶圓的生產(chǎn)過程中可以調(diào)整參數(shù)設(shè)置。該系統(tǒng)的規(guī)格包括:小于8微米對準(zhǔn)精度,超過2900瓦每小時(shí)的產(chǎn)量,凈產(chǎn)量大于2700瓦每小時(shí),晶圓破損率小于0.15%,可以生產(chǎn)120μm的薄晶圓。
這個(gè)新的平臺繼續(xù)了Baccini“非常柔軟的晶圓處理”方法,并且具有更先進(jìn)的運(yùn)動(dòng)控制算法和平面電機(jī)和伯努利(Bernoulli)“Flippers”,這些都是優(yōu)質(zhì)工具必不可少的性能。此外,短運(yùn)動(dòng)鏈的設(shè)計(jì)理念直接提高了系統(tǒng)的精度和準(zhǔn)確度。工具也不需要使用軸承。
該架構(gòu)具有雙打印頭,在晶圓的生產(chǎn)過程中可以調(diào)整參數(shù)設(shè)置。該系統(tǒng)的規(guī)格包括:小于8微米對準(zhǔn)精度,超過2900瓦每小時(shí)的產(chǎn)量,凈產(chǎn)量大于2700瓦每小時(shí),晶圓破損率小于0.15%,可以生產(chǎn)120μm的薄晶圓。
這個(gè)新的平臺繼續(xù)了Baccini“非常柔軟的晶圓處理”方法,并且具有更先進(jìn)的運(yùn)動(dòng)控制算法和平面電機(jī)和伯努利(Bernoulli)“Flippers”,這些都是優(yōu)質(zhì)工具必不可少的性能。此外,短運(yùn)動(dòng)鏈的設(shè)計(jì)理念直接提高了系統(tǒng)的精度和準(zhǔn)確度。工具也不需要使用軸承。