2011年8月4日,SINGULUS技術(shù)公司宣布研制了一種新的電感耦合等離子體(ICP-PECVD)覆膜設(shè)備,該設(shè)備用于晶體硅太陽能光伏組件的生產(chǎn),將在第26屆德國漢堡的EU—PVSEC上展出。
2011年8月3日,該公司宣布其Silex濕法蝕刻工具的改進,其采用無溶劑的處理方法可以大大降低光伏電池的生產(chǎn)成本。
該公司新推出的“Singular”是一個由數(shù)個真空室構(gòu)成的模塊化的工具,它使高效率的光伏電池制造過程更為靈活。 SINGULUS指出,改進后的Silex系統(tǒng)避免了使用揮發(fā)性溶劑包括異丙醇(IPA)。
同時,該公司指出,這比傳統(tǒng)的蝕刻系統(tǒng)成本更低,使蝕刻液的壽命延長了3倍并縮短蝕刻時間。新系統(tǒng)能夠達到每小時3000片的產(chǎn)量,廢品率小于0.05%。公司指出,第一臺機器已被一亞洲客戶買走,并已順利通過了最終驗收測試。