三菱重工業(yè)公開了2007年第二季度開始量產(chǎn)的外形尺寸為1.4m×1.1m的串聯(lián)薄膜硅太陽能電池技術(shù)（演講編號:3DP.2.4“The Worlds Largest a-Si/mc-Si Tandem Module Production”）。1.4m×1.1m這一尺寸在量產(chǎn)中的串聯(lián)薄膜硅太陽能電池中為全球最大。 

    在非結(jié)晶硅和微結(jié)晶硅重疊的串聯(lián)構(gòu)造的薄膜硅太陽能電池中，膜厚達到2μm以上的微結(jié)晶硅成膜速度十分關(guān)鍵。三菱重工業(yè)為了提高微結(jié)晶硅成膜速度，采用了通過施加60MHz頻率來產(chǎn)生等離子的手段。這樣可獲得13.56MHz時的10倍成膜速度。 

    但是，隨著底板的面積的增大，等離子分布不均等課題也隨之產(chǎn)生。為此，三菱重工業(yè)開發(fā)出了在調(diào)制相位的同時施加60MHz頻率的PMM（Phase Modulation Method）技術(shù)，從而獲得了在1.4m×1.1m的底板上穩(wěn)定、高速形成微結(jié)晶硅的效果。微結(jié)晶硅的成膜速度達到了2.3nm/秒，可在量產(chǎn)線上以3分鐘1枚的頻率制造產(chǎn)品。目前的模塊轉(zhuǎn)換效率在實現(xiàn)穩(wěn)定化后可達到9.5％左右。為了實現(xiàn)10.4％的目標，該公司正在繼續(xù)改進。 

    三菱重工業(yè)在此次的發(fā)表中公布了今后的生產(chǎn)計劃。目前，該公司的串聯(lián)薄膜硅太陽能電池產(chǎn)能為年產(chǎn)40MW。今后計劃在將這一產(chǎn)能提高至50MW，再加上2007年第二季度開工建設(shè)的年產(chǎn)50MW的新工廠，力爭2008年內(nèi)達到年產(chǎn)100MW。由于非結(jié)晶硅太陽能電池的產(chǎn)能也得到了提高，因此該公司的太陽能電池產(chǎn)能屆時將合計達到年產(chǎn)128MW。另外，該公司還計劃建設(shè)年產(chǎn)100MW規(guī)模的新工廠。不過，要想實現(xiàn)這一目標，還面臨經(jīng)驗豐富的技術(shù)人員不足的問題，需要通過企業(yè)收購等多種途經(jīng)來予以解決。