值得注意的是制PN結(jié)并非單純的將兩個不同的電池片(P型硅和N型硅)疊加在一起，P型硅和N型硅必須產(chǎn)生良好的內(nèi)部接觸，因此通常采用在P型硅片的一面擴散制成N型。

　　

　　一、擴散的方法

　　

　　1．三氯氧磷(POCl3)液態(tài)源擴散

　　

　　2．噴涂磷酸水溶液后鏈?zhǔn)綌U散

　　

　　3．絲網(wǎng)印刷磷漿料后鏈?zhǔn)綌U散等等

　　

　　目前國內(nèi)多采用第一種方法(穩(wěn)定、可控性強)。

　　

　　二、POCl3擴散的原理

　　

　　POCl3在高溫下(>600℃)分解生成五氯化磷(PCl5)和五氧化二磷(P2O5)，其反應(yīng)式如下：

　　

　　生成的P2O5在擴散溫度下與硅反應(yīng)，生成二氧化硅(SiO2)和磷原子，其反應(yīng)式如下：

　　

　　由上面反應(yīng)式可以看出，POCl3熱分解時，如果沒有外來的氧(O2)參與其分解是不充分的，生成的PCl5是不易分解的，并且對硅有腐蝕作用，破壞硅片的表面狀態(tài)。但在有外來O2存在的情況下，PCl5會進一步分解成P2O5并放出氯氣(Cl2)其反應(yīng)式如下：

　　

　　生成的P2O5又進一步與硅作用，生成SiO2和磷原子，由此可見，在磷擴散時，為了促使POCl3充分的分解和避免PCl5對硅片表面的腐蝕作用，必須在通氮氣的同時通入一定流量的氧氣。

　　

　　在有氧氣的存在時，POCl3熱分解的反應(yīng)式為：

　　

　　POCl3分解產(chǎn)生的P2O5淀積在硅片表面，P2O5與硅反應(yīng)生成SiO2和磷原子，并在硅片表面形成一層磷-硅玻璃，然后磷原子再向硅中進行擴散，POCl3液態(tài)源擴散方法具有生產(chǎn)效率較高，得到PN結(jié)均勻、平整和擴散層表面良好等優(yōu)點，這對于制作具有大面積結(jié)的太陽電池是非常重要的。

　　

　　三、擴散車間控制指標(biāo)

　　

　　1、擴散方阻。擴散工序最主要的監(jiān)控指標(biāo)，不同方阻代表不同的擴散程度，其主要與摻雜時間、摻雜溫度、磷源流量有密切的關(guān)系。

　　

　　2、結(jié)深、表面濃度等、測量難度較大，通常不輕易測量。

　　

　　四、擴散車間常見事項

　　

　　1、磷源安全。三氯氧磷屬于劇毒物(小編聽說吸一口就會嗝屁)，磷源一般有專門密閉儲藏室，且擴散車間一般與其他車間分離，做簡單密閉處理，車間內(nèi)設(shè)置有磷源泄露檢測裝置(小編提醒，企業(yè)要定期檢查傳感器狀態(tài)避免失靈，對于一些小企業(yè)對于剩余磷源采取人工倒灌以節(jié)省成本的做法也表示強烈抗議)。

　　

　　2、方阻監(jiān)測。相對于其他材料，方阻的測量由于經(jīng)過擴散，其大小受光線影響較大，工人分批次測量時必須督促其關(guān)閉屏蔽罩。

　　

　　3、洗舟檢查。石英舟是承載電池片進入擴散爐管的特殊材質(zhì)的舟，由于需要重復(fù)使用，長期的不清洗會導(dǎo)致電池片效率下降嚴(yán)重。

　　

　　4、溫度參數(shù)校隊。擴散機臺在擴散過程中對于溫度極為敏感，且每一幾天溫度參數(shù)較多，且都數(shù)值較大，經(jīng)常發(fā)生人工更改溫度出現(xiàn)輸錯情況，后果嚴(yán)重。

　　

　　5、檢查車間內(nèi)，氣體壓力、磷源最低刻度、負(fù)壓是否正常，異常情況通知外圍調(diào)整。

　　

　　6、匹配絲網(wǎng)印刷，不同方阻所匹配的絲網(wǎng)工藝不同，以達到最佳的轉(zhuǎn)換效率。

　　

　　五、總結(jié)

　　

　　擴散車間是一個非常特殊的車間，反應(yīng)條件嚴(yán)苛，工藝人員不可能觀察得到，問題排查基本只能靠計算機控制系統(tǒng)的監(jiān)控數(shù)據(jù)，而監(jiān)控數(shù)據(jù)一般較煩雜，通常排查周期較長，所以一般出現(xiàn)問題都是大批量的，空氣溫度、排風(fēng)壓力、氣體流量的輕微波動都有可能造成生產(chǎn)的電池片方阻較大的異常，對工藝人員排查問題的能力要求較高。為了節(jié)約成本，擴散多采用高密度背靠背式擴散，對機械臂精度要求較高，且碎片率相比于其他工序較高。由于擴散工藝運行時間較長，一般一個小時左右，對于留存量的把控較難，長時間留存的電池片受空氣污染，效率大打折扣。

　　

　　擴散的好壞直接決定了電池片的好壞，所以對于擴散車間的管控逐漸成為各大廠商日益重視的焦點，擴散車間工藝人員的培養(yǎng)也直接決定了擴散車間的好壞。