2010年10月10日是一個值得讓京儀世紀人難忘的日子!說它難忘,首先是因為“三連十”是百年一遇“十全十美”的大好日子;再有就是京儀世紀電子分公司總裝生產(chǎn)線的員工們繼日前實現(xiàn)月產(chǎn)量突破71臺的最高記錄后,國慶假期中,又創(chuàng)造了MCZ-6000HB型硅單晶爐達產(chǎn)第1000臺的新紀錄!
MCZ-6000HB型硅單晶爐是針對太陽能電池市場的需求而開發(fā)的高性能晶體生長爐。該爐采用直拉法生長單晶,提升結(jié)構(gòu)類型為軟軸提拉型。大規(guī)模生產(chǎn)太陽能級6?-8?硅單晶,在優(yōu)化條件后也可生產(chǎn)IC級單晶。
MCZ-6000HB型硅單晶爐的特點是,主室直徑為900mm,可使用18?-22?熱系統(tǒng),最大投料量120kg,并可連續(xù)投料你20kg,可拉制6?-8?硅單晶,主要應(yīng)于8?太陽能硅單晶拉制。真空度及潔凈度按IC級別設(shè)計,也可用于集成電路硅材料的拉制。
MCZ-6000HB系列硅單晶爐采用標準模塊化部件系統(tǒng)集成設(shè)計而成??梢院芊奖愕亟M成MCZ-6000HB基本型,也稱半自動型。在滿足太陽能硅單晶生產(chǎn)的基本要求下,追求成本最低,供企業(yè)在市場價格競爭中保持大批量生產(chǎn)中的低成本優(yōu)勢。
同時均考慮安裝水平電磁場的外形尺寸空間預(yù)留及相關(guān)功能部件增減。該設(shè)備采用臥式籽晶提升機構(gòu)、翻板閥。MCZ-6000HB單晶爐總體高度在6.8米左右。
電控制系統(tǒng)采用微機控制,功能全、精度高、穩(wěn)定性好。本爐具有:溫度自動控制系統(tǒng)、電機調(diào)速控制系統(tǒng)、光環(huán)法單晶直徑自動控制系統(tǒng)(A型)、CCD單晶直徑自動控制系統(tǒng)(C型)、單晶熔體自動跟隨系統(tǒng)、配備坩堝跟蹤數(shù)字顯示功能。各拉晶有關(guān)參數(shù)包括籽晶軸、坩堝軸的轉(zhuǎn)動速度、晶升和堝升速度、爐內(nèi)壓力等數(shù)據(jù)都采用數(shù)字顯示儀表。能穩(wěn)定的控制生長直徑直徑均勻的無位錯單晶。
電控制配置有電氣柜及電源柜,使用、調(diào)整維修容易。爐室結(jié)構(gòu)為頂開式,主爐室和副爐室開啟時可上移。副爐室為筒式,爐蓋及主爐室、副爐室均采用機械傳動裝置,上升到位后分別轉(zhuǎn)開,懸掛在爐子外側(cè),便于拆裝熱場系統(tǒng)和清理爐內(nèi)各部。主爐室和副爐室之間,設(shè)有隔離閥,可在保持坩堝溫度的情況下取出晶體,更換籽晶,實現(xiàn)連續(xù)拉晶。具有各類自動聯(lián)鎖和安全措施。例如:主要部位冷卻水溫的檢測與超溫報警。籽晶軸、坩堝軸超程限位報警。電流過流保護等。