加利福尼亞州,圣何塞市，2010年10月18日美國澤塔儀器公司(ZETA INSTRUMENTS，INC。)是一家業(yè)內(nèi)領先的微細表面形貌測量儀器制造商。該公司今天宣布博世已選擇Zeta-200™光學測量系統(tǒng)用來配備其位于德國斯圖加特的高科技研發(fā)中心。作為全球領先的技術和服務供應商，博世選擇澤塔的三維表面成像和測量解決方案，用來滿足博世一系列研發(fā)活動中關鍵的測量需求，包括光電和MEMS（微電子機械系統(tǒng)）的研發(fā)。

Zeta-200顯微鏡系統(tǒng)采用澤塔的專利Z-點陣™技術。，它可以對高縱橫比樣品進行非接觸、無損傷、快速三維成像，并且實現(xiàn)對臺階高度、粗糙度、尺寸、角度和體積的測量。由于它的非破壞性測量性能，用戶能夠快速高效地對高縱橫比的表面特征進行測量和分析，從而加快對流體微通道制造工藝的開發(fā)和研究。Zeta-200也使得對高粗糙度、極低反射率的復雜表面的成像變得更加容易，這種特性在太陽能電池的研究和生產(chǎn)上發(fā)揮了積極的作用。

運用Z-點陣技術，Zeta光學系統(tǒng)能夠?qū)ξ⒓毐砻嫣卣鬟M行快速三維測量。在不到一分鐘的時間，Zeta-200以精度高達15納米的步距垂直掃描樣品表面，在對樣品進行Z軸精確量測的同時，提取X軸和Y軸的信息。大多數(shù)儀器在測量這些表面時會遇到困難，有的還需要復雜的校準和樣品準備。與其它同類產(chǎn)品相比，Zeta-200是一種更易于使用的光學測量工具，需要較少的培訓和系統(tǒng)維護，因此它為用戶提供了更快、更好的解決方案。

“由于選用了Zeta-200，我們能夠快速、可靠地測量我們的太陽能電池和MEMS結構，這為我們帶來了更高的效率和更低的制造成本，” 博世公司硅太陽能電池研究中心的Thomas Wagner博士說：“我們評估了眾多測量設備，最終毫無爭議的選擇了Zeta-200。這臺儀器能夠及時地為我們幾個研究團隊提供關鍵的測量數(shù)據(jù)，，從而幫助他們在各自領域里保持領先地位。”

與激光共聚焦顯微鏡相比，Zeta-200獨特的應用軟件和硬件組合具有更卓越的成像和測量功能。此外，Zeta-200還提供真彩色圖像和優(yōu)惠的價格。，其優(yōu)化的整體設計確保了系統(tǒng)的易用性和低廉的維護成本。其它解決方案，比如干涉顯微鏡系統(tǒng)，需要對樣品進行水平度調(diào)整它難以對例如微機電系統(tǒng)所使用的大深度特征樣本進行有效測量。掃描電子顯微鏡（SEM）雖然可用于高精度成像，但是它不能提供真實的彩色圖像。而且它需要時間制備樣品這個過程往往會對樣品造成損傷。

澤塔儀器公司的總裁Rusmin Kudinar表示：“Z-點陣技術具有對一系列難以測量復雜表面進行高精度成像和測量的優(yōu)勢，是太陽能電池和生物技術應用的理想測量工具。我們很高興博世在同類產(chǎn)品中選擇我們作為其最佳解決方案。同時我們也很榮幸能為他們提供所需的關鍵測量設備?！?/P>

澤塔系統(tǒng)的另一個獨到之處是集多功能于一身。Zeta-200的可選功能包括：薄膜厚度測量；Nomarski/q-DIC成像、以及各種不同的樣品載臺。這些選項使用戶能夠測量透明薄膜樣品，如防反射涂層、光阻和納米級的超平滑表面，以及對樣品在多個方向進行掃描測量。如需獲取更多的關于Zeta-200的信息，請訪問http://www.zeta-inst.com/contact。

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博世集團是汽車、工業(yè)技術、消費品和建筑技術市場上世界領先的技術及服務供應商。博世集團研究中心為博世的創(chuàng)新提供基礎。博世研究中心的1300多名員工，在全球致力于前沿科技的研究，努力創(chuàng)造新專利，使產(chǎn)品更有效、更容易操作、更安全、更環(huán)保。欲了解更多信息，請訪問http://researchinfo.bosch.com/

關于澤塔儀器
澤塔儀器公司是業(yè)內(nèi)領先的微細表面形貌成像和測量解決方案供應商。澤塔的測量系統(tǒng)幫助綠色環(huán)保技術和生物醫(yī)藥產(chǎn)品制造商大幅提高產(chǎn)量和增強質(zhì)量控制。其解決方案被廣泛應用于微流體/生物技術、高亮度LED、太陽能電池、磁存儲介質(zhì)的開發(fā)和生產(chǎn)。澤塔是一家總部位于美國加利福尼亞州圣何塞市的私人控股公司。欲了解更多有關澤塔儀器及其產(chǎn)品，請訪問www.zeta-inst.com

Z-點陣和Zeta-200是澤塔儀器公司的注冊商標。

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