三菱重工業(yè)在于長崎大學(xué)舉行的第71屆應(yīng)用物理學(xué)會學(xué)術(shù)講演會上，就該公司的薄膜硅型太陽能電池的開發(fā)經(jīng)過及今后展望發(fā)表了演講。該公司目前正在建設(shè)的新一代薄膜太陽能電池生產(chǎn)線的目標(biāo)是，年產(chǎn)量達(dá)到50MW，轉(zhuǎn)換效率達(dá)到15％。盡管還存在課題，但“如果能夠?qū)崿F(xiàn)這一目標(biāo)，生產(chǎn)能力將達(dá)到目前的3倍，2020年之前模塊的制造成本可降至75日元/W”（三菱重工）。

　　發(fā)表演講的是三菱重工業(yè)原動機業(yè)務(wù)本部太陽能電池業(yè)務(wù)單元技術(shù)長高??。高?在演講中提到了該公司制造技術(shù)的先進(jìn)性。“制造裝置均為自主生產(chǎn)。制膜速度高達(dá)2.3～2.5nm/秒。制造工廠全部實現(xiàn)了自動化，放入玻璃即可生產(chǎn)出太陽能電池模塊。制膜裝置內(nèi)部還配備了自動清洗功能，可連續(xù)運轉(zhuǎn)三個月”（高?）。

　　不過，從2007年10月開始啟動生產(chǎn)線的非晶硅與微結(jié)晶硅的串聯(lián)式太陽能電池中卻出現(xiàn)了一項失算。“由于尺寸為1.1m×1.4m的面板初期效率為12.83％，因此穩(wěn)定后的效率應(yīng)該也能超過10％，最大輸出功率可達(dá)到150W”（高?）。然而，實際產(chǎn)品的最大輸出功率為130W，轉(zhuǎn)換效率只剛超過8％。這是“因為模塊位置不同時，性能偏差較大，而技術(shù)人員只匯報了模塊中央附近的測量值”（高?）。目前正在改進(jìn)技術(shù)，已經(jīng)能夠制造出尺寸相同、最大輸出功率為140W（轉(zhuǎn)換效率超過9％）的面板。

　　三菱重工業(yè)的高?表示，在采用新一代面板的太陽能電池制造技術(shù)方面，也大體制定了目標(biāo)。與此前相比的較大變化包括，（1）面板尺寸為1.4m×3.3m，擴大至原來的3倍多；（2）將制膜采用的等離子CVD的等離子頻率提高到VHF頻段的60MHz；（3）對（2）的頻率進(jìn)行位相調(diào)制；（4）大幅降低（3）引起的電源周圍的電力損失，等等。

　?。?）意味著將生產(chǎn)線的生產(chǎn)能力提高至原來的3倍，（2）意味著可提高制膜速度。“已經(jīng)實現(xiàn)了2.62nm/秒±14.6％的效率”（高?）。但如果提高制膜速度，一般會導(dǎo)致性能偏差增大，難以實現(xiàn)面板的大尺寸化。為解決這個問題采用了（3）中提到的措施。對等離子的頻率進(jìn)行位相調(diào)制后，均一性將得到大幅提高。（4）指的是通過對供電線進(jìn)行精確的阻抗匹配，因反射導(dǎo)致的電力損失減少了78％。由此，“能源回收期（EPT，Energy Payback Time）僅需一年”（高?）。

　　通過實現(xiàn)“制作一張面板使用2分30秒，傳送一張面板在80秒以內(nèi)”（高?）的高速制造，該生產(chǎn)線中每條生產(chǎn)線的年產(chǎn)量將達(dá)到50MW的規(guī)模。“制造裝置已經(jīng)基本進(jìn)入工廠，正在進(jìn)一步追求性能的提升”（高?），沒有提及具體的預(yù)定開工時間。而是宣稱，“2020年之前，單塊模塊每W的制造成本可實現(xiàn)75日元”（高?）。（記者：野澤 哲生）