今年4月份，派瑞公司和山東某三氯氫硅廠簽約的三氯氫硅尾氣凈化設(shè)備正常投入使用，連續(xù)開車72小時(shí)，設(shè)備工作狀況良好，達(dá)到了預(yù)期的設(shè)計(jì)目的和合同要求，甲方非常滿意，順利辦理了交接驗(yàn)收手續(xù)。

經(jīng)過調(diào)研，目前國內(nèi)的廠家在三氯氫硅合成過程中，均存在大量合成后的尾氣，該尾氣的主要成份為氫氣，組成比例大約為H2（80%），HCL（15%），SiHCl3（2%），SiCl4（0.5%），這些組份均是寶貴的生產(chǎn)原料，如直接淋洗后排空，既污染環(huán)境又浪費(fèi)資源，因此需要進(jìn)行分離提純。我公司采用變壓吸附原理對三氯氫硅合成工段排放的尾氣進(jìn)行分離提純，產(chǎn)品氣1為氫氣，純度可達(dá)到99.999%（可以再次進(jìn)入HCL合成爐進(jìn)行HCL合成或者其他用途），產(chǎn)品氣2為解析氣可以返回冷凝精餾工段回收SiHCl3和SiCl4。

派瑞公司于2008年開始對該行業(yè)進(jìn)行調(diào)研、試驗(yàn)，經(jīng)過技術(shù)人員歷時(shí)2年的刻苦公關(guān)，終于成功投入生產(chǎn)。該設(shè)備的成功投運(yùn)為三氯氫硅行業(yè)的尾氣處理提供了可供同行業(yè)借鑒的解決方案，為企業(yè)節(jié)約了運(yùn)行成本，也避免了環(huán)境污染。同時(shí)，該技術(shù)也可應(yīng)用于多晶硅行業(yè)，多晶硅還原過程中產(chǎn)生的尾氣成份與此相似，比例卻低的多，更加容易處理。