準(zhǔn)單晶主要面臨兩個問題:位錯和單晶率
主要以技術(shù)工藝角度來闡述,不涉及設(shè)備,希望給同仁們?nèi)绾谓档臀诲e的得高單晶率帶來一定思考
1、位錯主要來源籽晶隱性裂紋,在長晶過程中會放大。
為規(guī)避裝料過程的擠壓帶來隱性損傷及裂紋,可以采用雙層籽晶的形式。多加一層可以是多晶的,最下面籽晶層一定是單晶硅,融化過程直接融到引晶層。在這個基礎(chǔ)上長晶就可以了。
2.坩鍋側(cè)壁雜質(zhì)和凹凸不平點形成多晶核,兩種方案來應(yīng)對。
第一、近坩堝壁側(cè)用小籽晶塊的形式,主要是把形成的多晶硅通過長晶位錯的形式檔在外邊。
第二,現(xiàn)有的坩堝表面的光潔度不夠,可以建議拋光打磨處理,避免因表面顆粒易造成多晶成核。
3.界面一定要保持凸形,帶來的好處有二
第一:從中心長晶的好處,中心單晶率較高,從中心往四周長基本上會長出單晶來,收益和良率都會得到保證。
第二 減小和規(guī)避因側(cè)壁或者坩堝壁的凹凸點和小雜質(zhì)點形成多晶核,導(dǎo)致在多晶基礎(chǔ)上長晶,必然多晶率增加。
4.坩堝形狀
因長方形坩堝原因,坩堝邊極其容易形式多晶。所以使用圓形坩堝是極好的,如果還想提高單晶質(zhì)量,最好使用圓底或者菱形底坩堝。
5.長晶速率及其它參數(shù)一定不要參考多晶硅
第一 多晶硅的長晶速率1.5-2.3mm/min范圍內(nèi),而單晶硅的長晶速率1-1.3mm/min,很多搞準(zhǔn)單晶都是多晶出身,相當(dāng)然參考多晶硅的速率,有點不靠譜。
第二 單晶硅人員搞準(zhǔn)單晶都比鑄錠人員自己搞準(zhǔn)單晶經(jīng)驗更有用一些。
第三 長晶速率慢是極好的
做到以上幾點得率能到60%以上。
主要以技術(shù)工藝角度來闡述,不涉及設(shè)備,希望給同仁們?nèi)绾谓档臀诲e的得高單晶率帶來一定思考
1、位錯主要來源籽晶隱性裂紋,在長晶過程中會放大。
2.坩鍋側(cè)壁雜質(zhì)和凹凸不平點形成多晶核,兩種方案來應(yīng)對。
第一、近坩堝壁側(cè)用小籽晶塊的形式,主要是把形成的多晶硅通過長晶位錯的形式檔在外邊。
3.界面一定要保持凸形,帶來的好處有二
第一:從中心長晶的好處,中心單晶率較高,從中心往四周長基本上會長出單晶來,收益和良率都會得到保證。
第二 減小和規(guī)避因側(cè)壁或者坩堝壁的凹凸點和小雜質(zhì)點形成多晶核,導(dǎo)致在多晶基礎(chǔ)上長晶,必然多晶率增加。
4.坩堝形狀
因長方形坩堝原因,坩堝邊極其容易形式多晶。所以使用圓形坩堝是極好的,如果還想提高單晶質(zhì)量,最好使用圓底或者菱形底坩堝。
第一 多晶硅的長晶速率1.5-2.3mm/min范圍內(nèi),而單晶硅的長晶速率1-1.3mm/min,很多搞準(zhǔn)單晶都是多晶出身,相當(dāng)然參考多晶硅的速率,有點不靠譜。
第二 單晶硅人員搞準(zhǔn)單晶都比鑄錠人員自己搞準(zhǔn)單晶經(jīng)驗更有用一些。
第三 長晶速率慢是極好的
做到以上幾點得率能到60%以上。