巴斯夫拓展了用來制造太陽能電池的工藝化學品產(chǎn)品系列,新推出的SELURIS Clean產(chǎn)品是一種全新的環(huán)保型清洗解決方案。目前,巴斯夫已經(jīng)可以對外供應SELURIS Clean。該產(chǎn)品能為太陽能電池生產(chǎn)提供多項優(yōu)勢,它能有效提升親水性,這包括改善其表面活性,及后續(xù)的硅晶圓清洗與保護層形成。此外,SELURIS Clean也可在較低的溫度下使用,這樣成本自然就降低了。
SELURIS Clean ? 更優(yōu)質(zhì)的清洗方案
SELURIS Clean在太陽能電池的生產(chǎn)流程中可應用兩次,分別是在磷酸摻雜工藝的前后。在摻雜工藝前,必須要讓經(jīng)過切割和表面粗化的硅晶圓具備親水性,這可使其表面較為潤濕,并讓磷酸更均勻地分布在晶圓上,使太陽能電池擁有最佳性能。
在摻雜工藝后,SELURIS Clean主要被用作高效清洗劑,可將殘留在晶圓表面上的磷輕易、快速地清除,降低非預期性電氣誤差發(fā)生率,從而避免太陽能電池性能降低;同時改善晶圓表面的保護層。
巴斯夫全球電子材料業(yè)務部副總裁步凱熙說:“SELURIS Clean 拓展了我們在工藝化學品領(lǐng)域的產(chǎn)品種類。為此,我們積極運用了巴斯夫內(nèi)部的專業(yè)知識及解決方案,特別是電子材料方面的經(jīng)驗。身為電子材料市場的先驅(qū),我們是太陽能電池產(chǎn)業(yè)客戶理想的合作伙伴,因為我們可以通過化學創(chuàng)新提升太陽能相對于其它能源的競爭力。”他進一步表示:“我們正致力于開發(fā)更多創(chuàng)新產(chǎn)品,對我們來說,太陽能產(chǎn)業(yè)是未來主要的市場之一?!?/P>
SELURIS ? 提升工藝效率及性能
在SELURIS 的產(chǎn)品系列中,巴斯夫為客戶提供用于單晶及多晶太陽能電池蝕刻、表面粗化、摻雜工藝的化學品。這些產(chǎn)品專門為太陽能電池的生產(chǎn)流程而調(diào)制。比如,此系列產(chǎn)品的化學純度就是專為太陽能電池生產(chǎn)而量身定制的。SELURIS系列中有部分產(chǎn)品是用于蝕刻和表面粗化的化學品,能修復芯片切割時的損傷,并使表面結(jié)構(gòu)化。此外,此系列產(chǎn)品也包含了用于晶圓摻雜工藝的高純度氧氯化磷(POCl3)。