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2011-05-18 20:56
豐常令人頭痛的問(wèn)題-裂紋![]() ![]() 虛心請(qǐng)教高手們一個(gè)我解決不了的問(wèn)題,在這里先行謝過(guò)??!
我們現(xiàn)使用梅耶博格的BS805帶鋸進(jìn)行單晶棒的開(kāi)方,但是,最近在晶棒底部出現(xiàn)裂紋,我降低過(guò)出刀時(shí)工作臺(tái)的進(jìn)給速度,也做過(guò)其它的一些其它的實(shí)驗(yàn),甚至加快過(guò)出刀時(shí)的進(jìn)給速度人,但是一點(diǎn)效果都沒(méi)有。這種裂紋嚴(yán)重會(huì)導(dǎo)致晶棒底崩裂,輕的有細(xì)小紋路及亮點(diǎn)。而且現(xiàn)在裂紋出現(xiàn)沒(méi)有規(guī)律,時(shí)有時(shí)無(wú)。請(qǐng)問(wèn)這種裂紋的產(chǎn)生是不是因?yàn)榍懈钤斐傻?,怎么解決?是不是單晶棒本身的問(wèn)題? 急盼回應(yīng),謝謝
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