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2011-05-18 20:51
PSG去除的基本參數(shù)問題? 已關(guān)閉
 懸賞分：0
偶是新人,被分配到了,去PSG工藝.但是由于沒啥經(jīng)驗(yàn),以下幾個(gè)問題請(qǐng)功高手們告知一下.
PSG去除的HF濃度大家都用多少啊? 大家用的HF濃度刻蝕速率一般都是多少呢? 需要多長時(shí)間? 刻蝕的溫度應(yīng)該保持多少呢?
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