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點(diǎn)擊 6511回答 0 2011-05-16 22:05

關(guān)于邊緣問(wèn)題的求教

已關(guān)閉 懸賞分:0
最近廠里邊緣片比較多,(一根棒子大概有20片左右)而且都在晶棒的兩頭位置出現(xiàn)。
自己分析原因如下:
                 1.截?cái)嘣斐傻臋C(jī)械損傷(用刀截?cái)啵?br />                  2.預(yù)清洗脫膠時(shí)水壓過(guò)大(調(diào)小后情況無(wú)好轉(zhuǎn))
                 3.預(yù)清洗脫膠時(shí)硅片晃動(dòng)過(guò)大(用手洗硅片邊緣依舊)
望對(duì)這塊有過(guò)了解的資深大蝦給幫忙看下,,這到底時(shí)什么原因造成的還有相應(yīng)的解決方案。
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