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點(diǎn)擊 3197回答 0 2011-05-16 21:15

單晶硅片表面制絨后絨面很不理想,如何處理?

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     制絨后部分硅片發(fā)現(xiàn)白斑,有部分區(qū)域完全不出絨,個(gè)人估計(jì)應(yīng)該是硅片清洗不徹底導(dǎo)致,在預(yù)清洗或者制絨工藝上如何調(diào)整才能保證絨面呢?請高手指點(diǎn)。
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