一、油污 描述：硅片中部油污、粘膠端面油污、滿面不規(guī)則油污。 產(chǎn)生條件： ① 砂漿最后一刀； ② 掉片（油污出現(xiàn)在未掉片的硅棒上）； ③ 交接班時間； ④ 去膠最后一槽溫度過高或時間過長； ⑤ 剛換清洗液。 原因解析： ① 切割過程中溫度過高，砂漿擴散或附著到硅片表面，增加了對清洗的要求； ② 過多掉片導(dǎo)致噴淋出現(xiàn)盲區(qū)，在去膠過程中擴散或附著到硅片表面； ③ 裝硅片的藍色盒子中的溫度過高、盛放時間過長導(dǎo)致殘留砂漿擴散到硅片表面； ④ 去膠最后一槽中的水溫高，長時間導(dǎo)致殘留砂漿擴散到硅片表面； ⑤ 清洗液攪拌不均勻或清洗液未能均勻與水混合導(dǎo)致清洗能力減??； ⑥ 由于現(xiàn)有的噴淋方式在粘膠面存在噴淋弱點，因此粘膠面易出現(xiàn)噴淋不干凈以及導(dǎo)致粘膠面油污。 解決方法（經(jīng)過嘗試均有效）： ① 降低最后一槽的去膠溫度或去膠時間，從而減少殘留砂漿擴散或附著在硅片表面的機會，最終達到避免出現(xiàn)油污； ② 去膠后盛裝硅片的藍色盒子中的水溫更改為冷水，減少殘留砂漿在硅片表面的擴散與附著； ③ 對于大量掉片的硅棒，采用手動脫膠，經(jīng)過噴淋、超聲后的硅棒直接從設(shè)備上拉下來，并翻過來放置在40℃左右的熱水中脫膠；