氮化硅
■氮化硅分子式為Si3N4,是一種重要的結(jié)構(gòu)陶瓷材料。
■它是一種超硬物質(zhì),本身具有潤滑性,并且耐磨損;
■ 除氫氟酸外,它不與其他無機(jī)酸反應(yīng),抗腐蝕能力強(qiáng),高溫時(shí)抗氧化。
■ 而且它還能抵抗冷沖擊,加熱到1000℃以上,急劇冷卻再急劇加熱,也不會(huì)碎裂。
■涂噴在坩堝表面,在加熱作用下,使液態(tài)氮化硅均勻的吸附坩堝表面,形成粉狀涂層,
■涂層目的是保護(hù)石英坩堝在高溫下石英坩堝與硅隔離,使液態(tài)硅不與石英坩堝反應(yīng),而使石英坩堝破裂,及冷確后最終保證硅碇脫膜完整性。
■技術(shù)指標(biāo)
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氮化硅