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無(wú)接觸式測(cè)量 厚度 電阻率 TTV Bow\彎曲度 Warp\翹曲度 型號(hào)

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無(wú)接觸式 厚度 TTV Warp\翹曲度 Bow\彎曲度
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型號(hào): DSi800
單價(jià): 面議
最小起訂量:
供貨總量:
發(fā)貨期限: 自買(mǎi)家付款之日起 3 天內(nèi)發(fā)貨
有效期至: 長(zhǎng)期有效
最后更新: 2013-01-30 14:38
 
詳細(xì)信息


能夠測(cè)量Si,藍(lán)寶石,GaAs,InP,Ge等材料
硅片要求
規(guī)格:         晶圓2"、 3"、4"、5"、6"、8"
測(cè)量功能       厚度:?jiǎn)吸c(diǎn)及多點(diǎn)厚度
        TTV:總厚度偏差
       Warp:翹曲度
  Bow:彎曲度

測(cè)量指標(biāo)
  厚度  范圍:150-1000μm
   測(cè)量誤差:≤±1.0μm
   重復(fù)性1σ:≤0.2μm
  TTV 范圍:0.0-200.0μm
   測(cè)量誤差:≤±1.0μm
   重復(fù)性1σ:≤0.5μm
  Warp 范圍:500μm
   測(cè)量誤差:≤±4.0μm
   重復(fù)性1σ:≤0.5μm
  Bow 范圍:±500μm
   測(cè)量誤差:≤±4.0μm
   重復(fù)性1σ:≤0.5μm
 

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