能夠測(cè)量Si,藍(lán)寶石,GaAs,InP,Ge等材料
硅片要求
規(guī)格: 晶圓2"、 3"、4"、5"、6"、8"
測(cè)量功能 厚度:?jiǎn)吸c(diǎn)及多點(diǎn)厚度
TTV:總厚度偏差
Warp:翹曲度
Bow:彎曲度
測(cè)量指標(biāo)
厚度 范圍:150-1000μm
測(cè)量誤差:≤±1.0μm
重復(fù)性1σ:≤0.2μm
TTV 范圍:0.0-200.0μm
測(cè)量誤差:≤±1.0μm
重復(fù)性1σ:≤0.5μm
Warp 范圍:500μm
測(cè)量誤差:≤±4.0μm
重復(fù)性1σ:≤0.5μm
Bow 范圍:±500μm
測(cè)量誤差:≤±4.0μm
重復(fù)性1σ:≤0.5μm